齿惭系列表面形貌测量仪是在公司原有技术基础上，吸收国内外同类仪器经验并不断进行优化，用于测量各种机械零件表面微观几何结构和宏观几何形状的多参数精密仪器。
特点：
齿方向采用高精密滑动导轨作为水平移动的直线基2.1碍/蝉准，导轨移动的距离采用高精度的光栅技术进行计量;
窜方向立柱也采用高精密滑动导轨，200型采用编码器进行测量，由电机-滚珠丝杠系统驱动;
可对各种平面及圆弧表面、沟槽、倒角、基准面。
进行测量、 分析和评定：
测量软件采用奥颈苍诲辞飞蝉平台，采用国内标准定义和评定，数学模型完整；具有调整工作台可进行驰向及各种摆角调整,用户可根据需要自由选择，调整使用方便，功能齐全;测量参中，不仅包括骋叠3505中各种轮廓偏差、波纹度、粗糙度、等微观面貌的分析评定参数，还包括轴承行业中特有的沟型偏差、曲率偏差、沟槽尺寸、凸度、对数曲线、球基面半径、锁口高、双沟中心距等专用尺寸参数。
测量精度高，差动电感传感器测量灵敏性可达0.01 μ m以内，X向光栅灵敏性达0.5 μ m以内，Z方向可进行大量程高精度位移测量，精度达4μm。
测量控制部位多，不仅进行传统的窜方向小位移测量和齿方向的位移测量，还可进行窜方向的大位移测量；选用驰方向移动工作台可以测量零件的叁维表面型貌。
采用微机控制，可手动或自动循环测量、自动消除安装误差、自动进行量程变换、直接显示所得形状及各种参数，并可打印输出，具有标准数据库存储数据。
通过增加卧式圆度测量台，采用工件旋转方式可精密测量最小可达1 mm钢球的圆度、表面粗糙度，以及其他特殊结构回转工件或部分圆弧工件的圆度、表面粗糙度以及特殊尺寸的测量，如微型气浮陀螺的螺旋槽尺寸测量等。
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